1.電壓測量范圍 0—200mV

　　分辨率 0.01mV

　　準確度 ≤0.5%FS

　　2.恒流源提供1A電流

　　電流精度 ±0.01A

　　3.壓力測量：0—3000N

　　分辨率：1N

　　準確度：當壓力為2200N時,準確度≤0.5%FS

　　4.電阻率的測量范圍：0-6000mWm

　　分辨率：0.1mWm

　　可根據用戶要求定制電阻率的測量范圍

　　5.測量電直徑：Φ=30mm

　　6.測量高度：20mm

　　7.高度分辨率：0.01mm

　　8.高度誤差 ±0.1mm

　　9.重復性：不大于5%

　　10.再現性：不大于8%